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石英坩堝中的雜質(zhì)
2024-05-31 15:56:56
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返回列表雜質(zhì)的擴(kuò)散雜質(zhì)的引入對單晶性能和成品率構(gòu)成直接的影響，因此與硅熔體直接接觸的石英坩堝的雜質(zhì)含量至關(guān)重要，坩堝所用原料高純石英砂是石英坩堝純度的基礎(chǔ)。高溫下，不同雜質(zhì)由于其物理特性不同而在石英坩堝中的擴(kuò)散快慢不同，但雜質(zhì)擴(kuò)散的現(xiàn)象說明高品質(zhì)石英砂的使用是單晶品質(zhì)保障的關(guān)鍵。參考以下雜質(zhì)在石英中的擴(kuò)散表： |
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| 雜質(zhì)與坩堝強(qiáng)度坩堝所用石英砂的雜質(zhì)含量也決定了坩堝的強(qiáng)度，雜質(zhì)含量高的石英坩堝高溫強(qiáng)度低，易變形，直接對單晶拉制構(gòu)成影響，比如坩堝上口內(nèi)塌造成與導(dǎo)流筒碰撞而阻斷正常拉晶。參考以下不同純度的石英的強(qiáng)度與溫度關(guān)系圖： |
雜質(zhì)與析晶由于采用低檔次石英砂或者在生產(chǎn)制程中的污染而帶來的坩堝中的雜質(zhì)含量過高，往往會帶來石英坩堝在本體上的析晶，如果析晶靠近內(nèi)表面，則由于局部的析晶殼層過厚而極易脫落使單晶拉制無法繼續(xù)。如果析晶造成外壁較厚的析晶，這種現(xiàn)象往往伴隨著坩堝外壁在析晶前期已經(jīng)過度軟化貼緊石墨坩堝，而極易產(chǎn)生在底部或者弧度的鼓包現(xiàn)象。如果這種析晶有可能貫穿坩堝本體的話，就會引起漏硅等一系列嚴(yán)重后果。參考下圖： |  |
